產(chǎn)品介紹：粒形分析儀是采用動(dòng)態(tài)圖像法原理設(shè)計(jì)生產(chǎn)的顆粒計(jì)數(shù)器，其主要的功能是用來測(cè)試CMP Slurry藥液中顆粒數(shù)量、顆粒形狀、不同形狀顆粒的數(shù)量濃度等，如二氧化硅、氧化鈰、氧化鋁等藥液。M3000型號(hào)產(chǎn)品完全可以查看任意通道顆粒的數(shù)量，如1μm、2μm、5μm等顆粒濃度。
不同形狀的顆粒對(duì)拋光效果和良率有明顯差異，粒形的控制是Slurry生產(chǎn)過程需要控制的重要參數(shù)。
設(shè)備原理：流式圖像法
測(cè)試范圍：0.5μm-1000μm
通道數(shù)：1024個(gè)數(shù)據(jù)通道
產(chǎn)品功能：顆粒計(jì)數(shù)、粒度分布、測(cè)試數(shù)量濃度、顆粒形狀分析
檢測(cè)方式：離線或在線
全自動(dòng)稀釋，無需人工稀釋
用于CMP Slurry中顆粒濃度檢測(cè)
球形度數(shù)據(jù)
頓度數(shù)據(jù)小結(jié)：
1）顆粒的球形度對(duì)CMP拋光效率有影響
2）顆粒的頓度對(duì)CMP拋光良率有很大影響，頓度越大良率受影響越大
