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LPC 大顆粒計數分析儀

產品介紹：大顆粒計數分析儀是采用光阻法原理設計生產的顆粒計數器，其主要的功能是用來測試CMPSlurry藥液中顆粒數量等，如二氧化硅、氧化鈰、氧化鋁等藥液。ZM-02產品完全可以按照要求查看任意通道顆粒的數量，如1μm、2μm、5μm等。設備原理：光阻法產品功能：顆粒計數、粒度分布、測試數量濃度

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產品介紹：大顆粒計數分析儀是采用光阻法原理設計生產的顆粒計數器，其主要的功能是用來測試CMP Slurry藥液中顆粒數量等，如二氧化硅、氧化鈰、氧化鋁等藥液。ZM-02產品完全可以按照要求查看任意通道顆粒的數量，如1μm、2μm、5μm等。

設備原理：光阻法

產品功能：顆粒計數、粒度分布、測試數量濃度

檢測方式：離線或在線

數據通道: 1024個

自定義通道: 64個

數據濃度上限可達1x 10

檢測范圍廣，0.5μm - 400μm

模塊化設計，便于升級及維護

用于CMP Slurry中顆粒濃度檢測

全自動進樣、自動稀釋、自動檢測、自動清洗、數據分析